高速奈米微粒量測系統性能評估方法之建立

在2002年由張章堂教授等人發展出一套高速奈米微粒量測系統( Fast Scanning Differential Mobility Analyzer, FDMA ) ,由於高速奈米微粒量測系統仍在開發測試階段,還未正式的應用在其他研究當中,本研究針對FDMA性能測試,建立出一套評估方法,以期作為往後其他研究之應用與繼續研發高速奈米微粒量測儀器之依據。本研究利用靜電分徑儀產生單一粒徑分佈的方式,以標定FDMA之遲滯時間。並得到長、短FDMA氣流流量在A:S = 1 Lpm:10 Lpm及2 Lpm:20 Lpm的條件下,掃描速度為3、5、10、20、30、60及120秒之遲滯時間。待求得FDMA之遲滯時間後,再對其粒徑量測結果與SMPS做比對分析,因此本研究得到長管柱FDMA最快掃描速度為20秒,短管柱FDMA則為5秒。並進一步評估FDMA氣流流量之影響,而提高長管柱FDMA氣流流量可降低量測範圍,有助於量測結果,其最快掃描速度可達10秒;而提高短管柱FDMA氣流流量,則縮短了量測範圍,結果並無顯著差異,最快掃描速度為5秒。國內所建置之FDMA依本研究所建立的測試評估方法,已得到良好的比對分析,針對100 nm以下奈米微粒之快速量測,以本研究實驗成果可作為往後研究之應用。

作者:黃漢祥