電子業放流水中全氟化物流布之研究

全氟有機物(perfluorinated compounds, PFCs)被廣泛使用在工商業的產品上已經有半世紀之久了。因為PFCs的持久性與潛在的健康危害,使得環境中存在PFCs的問題變成是重要的議題。而全氟辛酸(perfluorooctanoic acid, PFOA)與全氟辛烷磺酸(perfluorooctyl sulfonate, PFOS)被認為在PFCs中,引起環境污染所關注的議題之一。本研究使用液相層析質譜儀(LC/MS/MS)進行10種目標PFCs的濃度分析,這10種目標PFCs分屬全氟烴基磺酸系列(perfluoroalkyl sulfonate, PFAS)與全氟羧酸系列(perfluoroalkyl carboxylates acid, PFCA)。由原物料的分析結果顯示在黃光與顯影相關製程所使用的光阻、光阻去除液、稀釋劑、基板洗淨劑、光阻稀釋液、配向膜…等含有μg/L等級濃度的PFCs。在一電子業廢水處理廠放流水中,可以發現PFOS、PFOA與全氟癸酸(perfluorodecanoic acid, PFDA)濃度在0.1-179 μg/L、1.6-172 μg/L與0.1-82.8 μg/L,這也是在承受水體中可以檢測到PFCs主要原因之一在承受水體之Keya, Touchien, Xiaoli Rivers中,顯示出確實有PFCs的存在。針對承受水體10種PFCs分析,Keya River出現PFOS與全氟己烷磺酸(perfluorohexyl sulfonate, PFHxS),濃度分別是5.44與2.24 μg/L,其餘7種PFCs濃度為ng/L濃度等級。Touchien River發現大於ng/L濃度的PFCs物種有7種。Xiaoli River發現大於ng/L濃度的PFCs物種有4種。在Xiaoli River與Touchien River中有淨水廠取水口,此兩河川中潛藏的PFCs進入民生用水淨水廠後,需確保能被妥善處理,以保障安全用水。探討廢水廠高級氧化處理單元在PFCs處理效果之實驗,得知通入臭氧與氧氣至處理系統中無明顯的降解效果,同時也不會有溢散情形;分別添加雙氧水與雙氧水/臭氧至處理系統中顯示有降解效果,同時也觀察到,進行處理後不久,PFCs濃度有些許增加,隨之下降,顯示出高含碳數PFCs的前驅物存在於電子廠的放流水中。

作者:羅兆君